半导体行业产生的废气通过分类密闭收集处理，有酸性废气、碱性废气、有机废气、有毒有害废气、一般尾气等。不同类型的废气所选用的半导体环保设备有所不同。处理系统有机台端的POU本地处理和厂务端（Fab）中央处理系统；如热氧化、CVD、干法刻蚀、离子注入等工艺制程中会产生特性气体（硅烷、砷烷、磷烷、全氟烃、含卤素气体等有毒和高沸点废气），先经本地Local Scrubber预处理，后经入厂务端的中央处理系统集中处理。 中央处理系统集中处理有酸性废气处理系统（SEX）、碱性废气处理系统（AEX）、有机废气处理系统（VEX）、砷排处理系统（ASX）、一般排气系统（GEX）等，其中一般排气系统所排废气无污染，起排风散热作用。

　　半导体芯片加工厂的工业废气主要包含了硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、氨气、硫酸雾等的酸/碱废气以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃等的有机废气，具有挥发性的VOCs以及酸碱废气主要来源于对芯片的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的，这部分的废气浓度小且排放量大。

　　半导体废气采用的是洗涤塔废气处理设备进行处理的，洗涤塔分为立式和卧式，这两者之间的区别就在于立式废气洗涤塔是气液两相逆流接触，而卧式废气洗涤塔是气液两相交叉流接触。

　　洗涤塔废气处理设备主要由循环水箱、循环水管路、除雾层、填料层以及塔体组成，设备的工作流程大致为：酸/碱性废气收集→酸/碱式洗涤塔→离心风机→烟囱(达标排放)。

　　除了采用洗涤塔设备还可以选择采用沸石转轮或者是TO直燃式热氧化焚烧炉。

总之，半导体厂废气处理设备有很多种，每一种都有其特定的作用。半导体厂必须根据其排放的废气的特性来选择合适的废气处理设备，以达到的净化效果。我们应该积极支持半导体厂的环保工作，保护我们的环境。